直擊!全台第一座半導體廢氣處理設備生產線

【新唐人亞太台 2021 年 10 月 23 日訊】歡迎回來,全球發展半導體,帶來經濟效益,還有廢氣問題。帶您直擊,全台第一座廢氣處理設備生產線。背後靈魂人物總經理吳宗學,是如何從半導體老將,化身為全台廢氣處理設備龍頭,一起來了解。

全球擴充半導體產能,帶來經濟效益,但也製造大量的廢棄物。其中包含廢氣問題。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學:「腐蝕性很強的酸鹼性氣體,劇毒的氫化物氣體,還有一個會造成溫室效應的含氟氣體。」

半導體製程會產生多少廢氣?從數據推估,一台廢氣處理機約處理100公升廢氣,假設一天運轉20小時,約排放120立方公尺廢氣。一個半導體廠有1000台,等於一天排放約12萬立方公尺廢氣。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學:「氟離子的排放濃度以前根本不管,大概100個PPM的排放濃度。法規開始訂2個PPM以下,我從100PPM要降到2PPM,是一個很大的挑戰,所以我們就經過很多的努力,終於可以達得到。」

記者 李晶晶:「那麼,這些廢氣該如何處理呢?帶您直擊全台第一座半導體廢氣處理設備生產線。」

廢氣處理設備的核心段,選用耐腐蝕的鎳合金。以焊接最高工藝的魚鱗焊,來雕琢銜接口。配合客戶半導體製程達到PM2.5標準,吳宗學成功開發,先進製程使用的廢氣處理設備。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學:「做到2奈米、3奈米的話,你的粉塵顆粒粒徑,一定要小於2.5以下。非常大的一個門檻,我花了2年。用超音波還有二流體的技術。我們現在都可以達到90幾個%,所以他就下了很大的單子給我們。」

原是半導體老將的吳宗學,會踏入廢氣處理設備領域,是35年前的一個疑問。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學:「有一天我下班,發現奇怪我車子上面怎麼,烤漆有了一個洞一個洞。那一看就知道,被酸性氣體腐蝕掉的。」

吳宗學累積超過30年經驗,有多項專利,研發5大類處理設備。包括電漿、燃燒、電熱水洗、純水洗及吸附觸媒。重視研發的他,長年與工研院、核研所、交大、成大等,多間研究機構及大學合作。曾開發出臭氧觸媒的富氧炭材技術,進一步應用在空氣處理設備,踏入醫材領域。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學:「重點都是一樣,你臭氧處理不能直接排放,不能洩漏不然的話會對人體傷害。希望將來能夠跨足這個,醫療器材領域的設備繼續開發。」

73歲的吳宗學,以誠信的經營理念,獲得台灣半導體、面板等指標大廠青睞。下一步,將擴大版圖,貼近民眾生活。

採訪撰稿:李晶晶

攝影後製:葉錫鴻 陳輝模

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