三星「2025量產2奈米」專家指難威脅台積電

【新唐人亞太台 2022 年 06 月 21 日訊】三星副會長李在鎔上周從歐洲回來，產業布局受到市場關注，我們請教工研院產科國際所研究總監楊瑞臨，您怎麼看三星規劃，2025年以GAA大量生產2奈米晶片，請教您的看法？

工研院產科國際所研究總監 楊瑞臨：

「好。其實這一次李在鎔風塵僕僕的跑到歐洲，其實最主要當然就是拜訪荷蘭的艾斯摩爾，然後這個部分當然不只是希望能夠增加，對於艾斯摩爾所謂現在不管是7奈米或者5奈米EUV機台的資源，更關鍵的就是剛主持人你提到的，三星希望能夠在2025他用到全新的電晶體的架構，環繞閘極GAA用在3奈米，這個部分，其實如果用現在的7奈米或者5奈米所用EUV機台，它其實解析度還不夠，解析度還不夠。

如果目前的7 奈米5 奈米EUV用在3 奈米，他就必須要再兩次的曝光，因為解析度不夠，怎麼樣解決解析度的問題？

現在大家都在談的，就是所謂的高數值孔徑High-NA EUV ，這個部分其實解析度提升不少，所以這個部分如果要不管是台積，未來的用GAA的兩奈米的製程，或者三星的GAA ，三奈米製程，只要用到GAA的電晶體結構，都需要用到高數值孔徑的EUV。所以這個部分是很重要的一個武器，很重要武器。

但我覺得這次三星之所以公布，那麼看起來看似積極，而且很積極的公布他這次的三奈米的的技術藍圖，我覺得其實不是源自於它(三星)本身的技術已經到位，或者他的本身對自己技術開發的信心，而是源自於上個禮拜台積電在加州辦了一個非常重要的技術論壇，這個技術論壇已經完全的勾勒，甚至對全世界的半導體產業，關於台積電在先進製程，所有的目前技術已經到位，解決方案到位以外，也包括了未來在兩奈米以下，包括了可能1. 5 奈米一奈米以下所有目前正在開發的相關的技術，包括了更新的電晶體的結構，全新的一個導通的材料等等。

我覺得上個禮拜台積電的技術論壇所勾勒出來所有台積電目前的一些做法，其實造成三星內部極大的壓力，極大的壓力。

所以因應這樣的一個龐大的挑戰跟壓力，使得在這個禮拜，三星就不得不重申，它的三奈米的技術藍圖，但是我覺得他的技術藍圖完全是源自於外在的壓力，而不是源自於內部的技術的進展跟技術開發的信息。

所以基本上我覺得三星這一次又大陣仗的對韓國媒體宣布，我覺得還有待觀察，還有待觀察。更重要的一點，其實不只是台積，宣布了所有三奈米的技術到位的一些相關的細節以外，他甚至還把未來會用在2奈米的GAA相關的一些技術的挑戰都給宣布出來。

我個人認為當一個重要的技術的領先的企業，你會把你在技術開發的挑戰公諸於世，甚至不介意公諸於你的競爭者，就表示他的技術的開發也已經慢慢的累積，甚至到位，甚至已經不認為這些挑戰是挑戰，但是我認為它(台積電)所勾勒出來的挑戰，對於三星來說也可能造成極大的壓力，所以我覺得這些部分其實都是很重要的一個關鍵。

再來上個禮拜的台積，技術論壇還提到另外一個事情，就是台積還有另外一個重要的武器，就是3D 的異質整合跟3D堆疊，這個部分台積已經很明確的講了，就是今年3奈米下半年量產以外，明年他就可以用三奈米的小晶片，跟其他的製程節點，譬如說跟其他的5奈米，或者7 奈米的小晶片做3D 的堆疊，這些部分都是目前我的了解，三星的技術目前，是沒有辦法到位的。

所以三星其實真的是，我覺得它的挑戰如洪水而來，所以他不得不，一直只能緊追台積的腳步，我是說在技術藍圖上，但是他是不是真的解決方案能夠到位？我覺得只能持續的在觀察。 」