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台積電已在用！國科會發表台灣首台原子探針
2023-04-20 21:33:47國科會19日在國研院半導體中心，曝光了「原子針尖斷層影像儀（APT）」，堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析，這是除了台積電等業界外，第一台由國內學術界對外公開的設備。國科會希望藉此建立領域專家系統與研究服務平台，加速高階技術人才培育與半導體物理突破。
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「原子針尖斷層影像儀」助先進製程材料解析
2023-04-19 17:18:02國科會今天(19日)在新竹的國研院半導體中心，發布「原子針尖斷層影像儀」（APT）研究成果，可提供高解析度、3D材料分析，突破半導體解析侷限，堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析，不僅對半導體產業有所助益，更可擴展到多種前瞻應用材料。
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