直擊！全台第一座半導體廢氣處理設備生產線

【新唐人亞太台 2021 年 10 月 23 日訊】歡迎回來，全球發展半導體，帶來經濟效益，還有廢氣問題。帶您直擊，全台第一座廢氣處理設備生產線。背後靈魂人物總經理吳宗學，是如何從半導體老將，化身為全台廢氣處理設備龍頭，一起來了解。

全球擴充半導體產能，帶來經濟效益，但也製造大量的廢棄物。其中包含廢氣問題。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學：「腐蝕性很強的酸鹼性氣體，劇毒的氫化物氣體，還有一個會造成溫室效應的含氟氣體。」

半導體製程會產生多少廢氣？從數據推估，一台廢氣處理機約處理100公升廢氣，假設一天運轉20小時，約排放120立方公尺廢氣。一個半導體廠有1000台，等於一天排放約12萬立方公尺廢氣。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學：「氟離子的排放濃度以前根本不管，大概100個PPM的排放濃度。法規開始訂2個PPM以下，我從100PPM要降到2PPM，是一個很大的挑戰，所以我們就經過很多的努力，終於可以達得到。」

記者 李晶晶：「那麼，這些廢氣該如何處理呢？帶您直擊全台第一座半導體廢氣處理設備生產線。」

廢氣處理設備的核心段，選用耐腐蝕的鎳合金。以焊接最高工藝的魚鱗焊，來雕琢銜接口。配合客戶半導體製程達到PM2.5標準，吳宗學成功開發，先進製程使用的廢氣處理設備。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學：「做到2奈米、3奈米的話，你的粉塵顆粒粒徑，一定要小於2.5以下。非常大的一個門檻，我花了2年。用超音波還有二流體的技術。我們現在都可以達到90幾個%，所以他就下了很大的單子給我們。」

原是半導體老將的吳宗學，會踏入廢氣處理設備領域，是35年前的一個疑問。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學：「有一天我下班，發現奇怪我車子上面怎麼，烤漆有了一個洞一個洞。那一看就知道，被酸性氣體腐蝕掉的。」

吳宗學累積超過30年經驗，有多項專利，研發5大類處理設備。包括電漿、燃燒、電熱水洗、純水洗及吸附觸媒。重視研發的他，長年與工研院、核研所、交大、成大等，多間研究機構及大學合作。曾開發出臭氧觸媒的富氧炭材技術，進一步應用在空氣處理設備，踏入醫材領域。

台灣廢氣處理設備製造商總經理 吳宗學：「重點都是一樣，你臭氧處理不能直接排放，不能洩漏不然的話會對人體傷害。希望將來能夠跨足這個，醫療器材領域的設備繼續開發。」

73歲的吳宗學，以誠信的經營理念，獲得台灣半導體、面板等指標大廠青睞。下一步，將擴大版圖，貼近民眾生活。

採訪撰稿：李晶晶

攝影後製：葉錫鴻 陳輝模