「原子針尖斷層影像儀」助先進製程材料解析

【新唐人亞太台 2023 年 04 月 19 日訊】國科會今天(19日)在新竹的國研院半導體中心，發布「原子針尖斷層影像儀」（APT）研究成果，可提供高解析度、3D材料分析，突破半導體解析侷限，堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析，不僅對半導體產業有所助益，更可擴展到多種前瞻應用材料。

台灣大學材料科學與工程學系教授 顏鴻威：「在材料或者是半導體的研究中，可能少數原子的移動、或者是擴散、或者說這些原子分布的位置不對，就會造成元件或材料性能的喪失或衰減。所以我們必須去了解，這些原子是不是照著我們在製造材料的時候，或製作元件的時候，照著我們的想法走。那「APT」(原子針尖斷層影像儀)，其實它所呈現的數據，相當於我們人類在做斷層掃描，或者是更白話一點，它很像原子的GPS，所以我們可以在材料內部定義或定位，每個原子的位置跟種類，就像我們GPS在追蹤一樣。」

新唐人亞太電視 林秋霞 台灣新竹採訪報導