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關鍵字：半導體研究學院
前研發大將林本堅：台積電採浸潤式微影超車英特爾
2021-12-27 16:30:48
清大半導體研究學院今天揭牌，台積電前研發副總經理林本堅擔任院長，他透露，英特爾2002年曾組EUV聯盟，台積電無法參加，改採浸潤式微影技術，反而超越英特爾。
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