世界首創！國研院開發晶圓級氣體感測系統

【新唐人亞太台 2019 年 04 月 09 日訊】科技趨勢新聞，帶您來看到，AIoT時代，感測器扮演舉足輕重的角色，國研院發表全球首創「晶圓級氣體感測器高效能點測系統」，在晶圓階段，就可以測試氣體感測器（感測晶片）效能，大幅縮短檢測時間，而且在封裝前，就能得知每顆晶片的品質與分級，避免資源浪費。

AIoT時代，感測器扮演舉足輕重的角色，國研院研發新系統，相較於先前，可以在晶圓階段就測試氣體感測器的效能，一次就能檢測10顆，可以大幅縮短檢測時間，提早在封裝前，就能查知每顆晶片的品質與分級。

國研院台灣儀器科技研究中心副主任 陳峰志：「現在的現行的檢測方式，在晶圓階段做晶圓測試，它是做電的測試，它沒辦法做氣體反應測試，你要做氣體反應測試，必須封裝完之後，再做氣體反應測試，透過我們這套系統，可以在晶圓階段，就完成氣體測試。」

國研院六大核心技術，包括線陣列探針點測裝置、真空與供氣系統設備、自動光學對位等，才研發出這套系統，儘管一套系統機台成本約台幣千萬，但國研院表示廠商只需一年，就能回本。

國研院儀器科技研究中心副主任 陳峰志：「自動化對位系統，也可以提升測試階段效率，純粹就測試本身，至少提升三十倍效率。」

晶元光電公司研發中心資深處長 許嘉良：「從三個月也許變成，兩個禮拜就看到結果，如果是從量產角度，速度至少是三十倍，對量產成本也會下降。(速度)增加三十倍，等於成本變成三十分之一。」

根據市調機構報告，2021年，全球氣體感測器市場，可成長至9.2億美元規模，其中又以智慧手持裝置以及穿戴式裝置成長幅度最大。台灣是半導體大國，國研院看好，切入半導體製程的感測器市場，有絕對優勢。

新唐人亞太電視 王冠霖 張媛婷 台灣台北採訪報導